对大多数真空系统来说,真空阀门应具有以下广泛性的性能。

1, 防锈性

    在与真空环境接触的材料一定要具有良好的防锈性能。因此广泛采用铝合金,铜合金和不锈钢来制造真空隔离部件。

2, 工作压力范围在0~2.5×105Pa

    相对较宽的压力范围,会使产品的使用面更广泛,而且阀板的密封最好是双向的,至少阀板在反顶大气压时也可密封。

3, 低漏率

    在高真空领域内漏率应<10-7Pa·l·s-1,较低的漏率有利于提高系统的效率,对降低生产成本非常有效。

4, 起动时,震动低,对系统冲击小。

5, 结构紧凑,重量轻

6, 明显的阀位指示

7, 可选配加装阀门启闭信号控制器,便于编程自动化控制。

8, 高流导

9, 采用波纹管作为位移的动密封

    无动态漏气,无油脂污染,可靠性高,相对橡胶密封,可靠性更高并可以避免产生颗粒污染。

10,真空部分尽量避免采用真空脂。

11,尽量减少真空部件内的无用空间,以保证真空获得的时间更少。

12,尽可能的减少功耗

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